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精密加工：微細(xì)加工技術(shù)

各種微型電子設(shè)備已廣泛在工業(yè)、農(nóng)業(yè)、國防、交通、家庭等中應(yīng)用，結(jié)構(gòu)愈來愈復(fù)雜，要求體積小，重量輕，成本低，可靠性高。

微細(xì)加工技術(shù)的含義：
一般指微小零件的生產(chǎn)加工技術(shù)。

從廣義上講包括：
切削加工、磨料加工、電火花加工、電解加工、化學(xué)加工、超聲波加工、微波加工、等離子體加工、激光加工、電子束加工、離子束加工、光刻加工、電鑄加工等。

從狹義上講主要指：
半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)，多指集成電路制造工藝，如：光刻技術(shù)、離子束濺射、真空蒸鍍、化學(xué)氣相沉積等。

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