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精密加工和超精密加工的范疇

精密加工的精度：

當(dāng)前，精密加工是指加工精度為1～0.1μm、表面粗糙度為Ra0.1～0.025μm的加工技術(shù);超精密加工是指加工精度高于0.1μm、表面粗糙度Ra小于0.025μm的加工技術(shù)，因此，超精密加工又稱之為亞微米級加工。但是，目前超精密加工已進入納米級精度階段，故出現(xiàn)了納米加工及其相應(yīng)的技術(shù)

從精密加工和超精密加工的范疇來看，它應(yīng)該包括微細加工、超微細加工、光整加工、精整加工等加工技術(shù)。

微細加工

微細加工技術(shù)是指制造微小尺寸零件的加工技術(shù);超微細加工技術(shù)是指制造超微小尺寸零件的加工技術(shù)，它們是針對集成電路的制造要求而提出的，由于尺寸微小，其精度是用切除尺寸的絕對值來表示，而不是用所加工尺寸與尺寸誤差的比值來表示。

光整加工

光整加工一般是指降低表面粗糙度和提高表面層力學(xué)機械性質(zhì)的加工方法，不著重于提高加工精度，其典型加工方法有珩磨、研磨、超精加工及無屑加工等。實際上，這些加工方法不僅能提高表面質(zhì)量，而且可以提高加工精度。

精整加工

精整加工是近年來提出的一個新的名詞術(shù)語，它與光整加工是對應(yīng)的，是指既要降低表面粗糙度和提高表面層力學(xué)機械性質(zhì)，又要提高加工精度(包括尺寸、形狀位置精度)的加工方法。

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